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—電子元器件和電路的芯片級失效定位分析平臺


包括掃描電子顯微鏡(SEM),聚焦離子束系統(FIB),光發射顯微系統(EMMI)等。可進行顯微形貌觀察,芯片微納尺度的精細切割和電路修改,正反面nA級微光探測定位,定位精度小于2μm。